北方华创“半导体设备的加热器及半导体设备”专利获授权

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体设备的加热器及半导体设备”的专利,授权公告号为CN113604786B,授权公告日为2024年5月17日,申请日为2021年7月6日。

本申请公开一种半导体设备的加热器和一种半导体设备,上述加热器包括:加热盘,用于设置在所述半导体设备的腔体中,所述加热盘具有第一空腔以及相对的载物平面和底面,所述底面具有开口,所述第一空腔通过所述开口与大气环境连通;第一冷却元件,固定于所述第一空腔内,所述第一冷却元件用于向所述第一空腔内通入冷却气体。上述加热器在半导体设备的工艺过程中,加热盘温度稳定。

责编: 赵碧莹
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