1月16日,“高丰度核级10B酸、高丰度高纯11BF3电子特气新材料发布会”举行,山东成武易信环保科技有限公司(以下简称:山东易信)发布了高丰度核级10B酸、高丰度高纯11BF3电子特气新材料项目的最新进展。2023年6月该项目一期成功实现量产,2024年拟进一步加大投入扩大产能,实现硼同位素分离百吨级产能。
高丰度核级10B酸是一种重要的工业原料,广泛应用于核能、核电、核医疗等领域。在半导体制造过程中,11BF3气体是重要的离子注入气体,同时作为硼掺杂剂用于硅离子布植,生产出的芯片具有高集成、高密度、小体积等特点,且性能优越;同时,11BF3气体用于显示面板、也可作为制备光纤预制件的重要原料。
中国化工报消息显示, 山东成武易信环保科技有限公司董事长赵东方指出,近几年来,公司联融高校、科研院所,开展“产学研”合作,坚持自主创新为引领,攻克了硼同位素10B和11B的分离生产技术,突破了生产高纯度、高丰度硼同位素产品的技术瓶颈,建立了10B酸和11BF3工业化生产的完整体系,实现技术完全自主可控,形成了具备批量化生产高纯度、多丰度硼同位素产品的能力。
2024年,山东易信拟进一步加大投入扩大产能(二期),二期项目达产后将实现以10B酸、11BF3、单质硼、碳化硼为代表的硼同位素产品全面国产化,推动半导体制造业、核电工业、核医疗领域发展。(校对/韩秀荣)