中国石化与晶瑞电材年产万吨集成电路用G5级异丙醇项目开工

集微网消息，12月27日，中国石化与晶瑞电材年产1万吨集成电路用G5级异丙醇项目开工仪式在潜江举行。该项目的实施，将有助于突破集成电路用超净高纯异丙醇制备、金属杂质控制、水分控制等关键技术。

异丙醇是湿电子化学品中用量最大的有机溶剂，广泛应用于集成电路制程中清洗和干燥工序，是高端集成电路生产过程中不可或缺的关键材料。集成电路用异丙醇对金属离子浓度、水分、异构物以及颗粒等技术指标要求高。目前，我国先进集成电路用超净高纯异丙醇还依赖进口，是产业链的薄弱环节之一。

据悉，集成电路用G5级异丙醇项目将建立产品评估、验证生产体系，提高产品纯度和质量稳定性，实现超净高纯异丙醇在14纳米及以上集成电路生产线的产业化应用，实现技术和产品的国产化。

潜江市委书记盛文军致辞中指出，此次中国石化与晶瑞电材强强联合，共同实施年产1万吨集成电路用G5级异丙醇项目，实现了工艺放大的技术突破，进一步完善了集成电路产业链。

2019年以来，潜江市与晶瑞电材联合长江产业基金共同发起设立长江微电子材料产业基金，共同打造潜江微电子材料产业园。先后建成晶瑞一期，鼎龙、中巨芯、北旭电子等一批微电子材料领域“领头羊”企业，推动潜江微电子材料产业园从无到有、由小变大，产业连点成链、集链成群，与武汉的京东方、长江存储、华星光电、天马微电子等龙头企业形成上下配套。

目前，晶瑞电材在半导体湿电子化学品方面，高纯硫酸、高纯双氧水及高纯氨水等产品的金属杂质含量低于10ppt，达到G5等级，产品技术指标覆盖目前主流的先进集成电路技术节点要求，可与全球第一梯队企业较量；光刻胶产品方面，能够提供紫外宽谱及部分g线、i线、KrF光刻胶等产品。（校对/韩秀荣）