中科飞测半导体处理设备相关专利获授权

集微网消息，天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司“半导体处理设备的使用方法、半导体处理设备、及存储介质”专利获授权，授权公告日为9月8日，授权公告号为CN112967953B。

图片来源：天眼查

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体处理设备、半导体处理设备的使用方法、及非易失性计算机可读存储介质。半导体处理设备包括设有开口的处理腔室、位于处理腔室内的激光器、及设于开口处的遮挡件，遮挡件设置在开口处并能够调节开口的开合度。半导体处理设备的使用方法包括：获取开口的开合度；及当开口的开合度超过预设的安全阈值时，降低激光器的输出功率或激光器停止发光。本申请实施方式的半导体处理设备及半导体处理设备的使用方法中，激光器与开口的开合度关联，当开口的开合度超过预设的安全阈值时，可降低激光器的输出功率，或激光器停止发光。如此，无论开口的开合度处于任何状态，均能够保护开口处的操作人员的眼睛安全。（校对/赵碧莹）