赛微电子：控股子公司MEMS微振镜通过验证并启动试产

集微网消息，8月10日，赛微电子发布关于控股子公司MEMS微振镜通过验证并启动试产的公告。

据披露，2023年8月9日，因赛微电子控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司（简称“赛莱克斯北京”或“北京FAB3”）代工制造的某款MEMS（即微电子机械系统，简称为微机电系统）微振镜通过了客户验证，赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单，启动首批MEMS微振镜8英寸晶圆的小批量试生产。

MEMS微振镜（也称“微镜”、“扫描镜”）是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器和传感器集成在一起的光学MEMS器件。近年来，随着智能化、电动化、网联化的加速发展，汽车传感器市场持续扩大，基于半导体制造工艺生产的先进传感器正在扩大应用。MEMS微振镜是激光光束操纵的核心元器件，通过半导体制造工艺进行集成化生产，能够实现激光雷达、激光显示的小型化、低成本、高精度，助力推进MEMS微振镜在车载和AR/VR等领域的应用。

近年来，赛莱克斯北京持续加大研发投入，自主积累基础工艺，积极探索各类MEMS器件的生产诀窍，努力为全球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户，尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务，积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力，加速国产替代。

不过，赛微电子指出，尽管已在多领域实现MEMS制造技术的积累和突破，但公司北京FAB3在整体上仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及产量目标的实现尚需一定时间。