山东产研院硅基微纳制造平台全线贯通,首款产品下线并交付

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集微网消息,近日,山东产研院打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通,实现具备完整MEMS生产加工能力,其自主生产的首款产品正式下线并交付。济南高新技术创业服务中心消息称,这是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。

微纳制造平台建设总投资2亿元,山东产研微纳与智能制造研究院主导运营,定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。平台总面积5500平方米,洁净间面积约1800平方米,包括光刻区、刻蚀区、湿法区、高温区、注入区、金属化区、划片区、封装区、测试区等9大功能区,配置光刻、键合、扩散、腐蚀、刻蚀、沉积、注入、封装、测试等相关设备90余台,可实现MEMS芯片生产全过程。产研院拟于近期举办“微纳系统技术产业创新国际研讨会”,正式对外发布硅基微纳制造公共技术服务平台的产品转化和工程化验证服务。

在MEMS的主要应用方向智能传感器领域,山东省发布的《推动智能传感器产业发展行动规划》提出,2021-2023年,济南将积极引进智能传感器产业上下游配套企业,推动由智能传感器封装向模组、设备、系统和解决方案等产业延伸,形成以MEMS传感器封测为特色的产业聚集区。(校对/姜羽桐)

责编: 赵碧莹
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