芯米半导体首台幻影12英寸光刻工艺涂胶显影设备XM300交付客户

作者： 魏健 2023-04-20
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集微网消息，4月8日，芯米（厦门）半导体设备有限公司（以下简称“芯米半导体”）首台自研自创幻影12英寸光刻工艺涂胶显影设备XM300已成功交付国内一线客户。

芯米半导体是一家专业从事半导体黄光制程设备的生产厂家，专营产品晶圆制造黄光制程Coater and Developer（涂布显影设备）系列，包括温湿度控制机、中央供酸系统、光阻PUMP等配套设备，及国外高端机型的零件开发、工艺升级、设备改造服务等。

2021年11月，芯米半导体举办涂布显影设备新品发布会，推出首套集成电路前道制程8寸全自动涂布显影设备；同月，交付首套集成电路前道制程8寸（2C/2D）全自动涂布显影设备至客户。（校对/韩秀荣）

责编： 韩秀荣
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