晶盛机电推出6英寸双片式碳化硅外延设备

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集微网消息,2月4日,晶盛机电举行6英寸双片式碳化硅外延设备新品发布会。

图源:晶盛机电

晶盛机电消息称,公司还成功生长出8英寸N型碳化硅晶体,完成6英寸到8英寸的扩径和质量迭代,实现8英寸抛光片的开发,晶片性能参数与6英寸晶片相当,今年二季度将实现小批量生产。

1月12日,晶盛联合创新产业园项目大楼主体全面封顶。晶盛机电投资8亿元,在产业园建设12英寸集成电路大硅片设备测试实验线,预计2023年7月投入使用。(校对/姜羽桐)

责编: 姜羽桐
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