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河北工大项目通过科技成果鉴定 有助芯片制造关键材料阻挡层研磨液攻关

来源:爱集微

#河北工业大学#

#集成电路#

2022-11-28

集微网消息,11月24日,河北工业大学与北方集成电路技术创新中心(北京) 有限公司和天津晶岭微电子材料有限公司共同完成的“集成电路铜互连自钝化化学机械平坦化技术、材料及应用”项目科技技术成果通过中国电子协会科技成果鉴定。

河北工业大学消息称,该项目对芯片制造关键材料阻挡层研磨液攻关及产业化,对保障我国集成电路供应链和产业链安全具有重大战略意义。

据悉,该成果形成新型全国产耗材化学机械平坦化产品,通过创新中心55nm集成电路产线中试测试及终端用户测试,其稳定性、漏电流、击穿电压等多项重参数优于国际同类产品水平,对55nm以下先进技术节点集成电路具有指导作用。(校对/姜羽桐)

责编: 姜羽桐

吕佳妮

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