上海新阳:干法蚀刻后清洗液已实现14nm以上技术节点全覆盖

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集微网消息,近日,有投资者在投资者互动平台提问:请问上海新阳目前订单是否饱满?上海本部产能是否满产?

上海新阳9月20日在投资者互动平台表示,公司目前在手订单产量饱满,目前生产尚未达到1.9万吨。

据了解,上海新阳在合肥建的一期和二期项目主要生产集成电路制造用电镀、清洗、光刻、研磨等关键工艺化学材料。

对于投资者关心的Arf光刻胶,上海新阳在投资者互动平台答复,ArF光刻胶尚处于验证阶段,验证的进度受客户产线状态等多重因素影响,工艺化学材料产品的替代是一个复杂且严谨的过程,高端光刻胶产品尤甚,需要多方面的配合协同,感谢您对公司的关注,我们在攻克国家“卡脖子”工艺材料上有必胜的决心。

此外,还有投资提问,上海宣布14nm芯片量产?请问上海新阳有没有半导体工艺材料用于14nm?

上海新阳在投资者互动平台表示,公司的电镀液及添加剂产品已覆盖90-14nm技术节点,干法蚀刻后清洗液已经实现14nm以上技术节点全覆盖。(校对/黄仁贵)

责编: 邓文标
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