隐冠半导体第100台极轴运动台交付,应用于晶圆生产控制流程

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集微网消息,9月16日,隐冠半导体自主研发生产的第100台极轴运动台产品发运交付客户。

据悉,隐冠自主研发的极轴运动台采用高度模块化,超薄型等设计理念,实现X、Z和T轴3轴直线和旋转运动,其中垂向采用了磁浮重力补偿技术,可广泛应用于晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查、AOI光学检测等。

隐冠半导体成立于2019年,由复旦大学超精密运动与检测团队成立,专注于半导体装备关键核心零部件研发。其官方消息显示,该公司利用精密运动控制与检测领域的技术优势,打造高端精密运动控制与检测产品,并具备产品批量生产能力。8月份,隐冠半导体完成超2亿元战略轮融资。

(校对/杨晨曦)

责编: 赵碧莹
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