【中标】1400万元！北方华创中标清华大学1套金属刻蚀机

作者：魏健 2022-09-13

来源：爱集微 #中标# #北方华创# #清华大学# #刻蚀机#

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集微网消息，9月13日，清华大学发布金属刻蚀机中标公告。该公告显示，中标人为北京北方华创微电子装备有限公司，标的物为1套金属刻蚀机，中标金额1400万元。

此前，清华大学发布金属刻蚀机招标公告显示，所采购的金属刻蚀机将应用于微机电系统（MEMS）和先进集成工艺研发过程中的金属材料的干法刻蚀工艺，金属材料包括铝、钛等。

北方华创官方消息显示，在刻蚀领域，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机；2022年8月12日，北方华创发布CCP介质刻蚀机，已在5家客户完成验证并实现量产。至此，北方华创实现刻蚀工艺全覆盖。

（校对/黎雯静）

责编：韩秀荣

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