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【中标】1400万元!北方华创中标清华大学1套金属刻蚀机

来源:爱集微

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09-13 21:49

集微网消息,9月13日,清华大学发布金属刻蚀机中标公告。该公告显示,中标人为北京北方华创微电子装备有限公司,标的物为1套金属刻蚀机,中标金额1400万元。

此前,清华大学发布金属刻蚀机招标公告显示,所采购的金属刻蚀机将应用于微机电系统(MEMS)和先进集成工艺研发过程中的金属材料的干法刻蚀工艺,金属材料包括铝、钛等。

北方华创官方消息显示,在刻蚀领域,2005年8月,北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线;2017年11月,北方华创推出第一台金属刻蚀机;2022年8月12日,北方华创发布CCP介质刻蚀机,已在5家客户完成验证并实现量产。至此,北方华创实现刻蚀工艺全覆盖。

(校对/黎雯静)

责编: 韩秀荣

魏健

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