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赛微电子:北京8英寸MEMS代工线二期洁净室竣工,计划年底前通线生产

来源:爱集微

#赛微电子#

#竣工#

08-17 11:02

集微网消息,近日,赛微电子控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司完成了“8英寸MEMS国际代工线”(北京FAB3)二期产能洁净室的整体建设。目前已搬入部分设备进行安装调试,计划在今年底之前实现通线生产。

洁净室是指空气悬浮粒子浓度受控的空间,同时将室内的洁净度、温度、湿度、正压、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在满足工艺需求范围内,确保产品(芯片晶圆)能在一个良好环境空间中进行生产、制造,测试、包装。

据悉,北京FAB3二期洁净室总建设规模10730.54平米,主要洁净分区为10级洁净区(Litho光刻区),100级洁净区(Dry Ethch等非光刻区),1000级洁净区(封测包装及实验区)。截至目前,赛莱克斯北京8英寸MEMS国际代工线一期产能(1万片/月)正常使用中,二期产能(2万片/月)建设也正在进行中。

赛微电子官方消息显示,赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的8英寸MEMS国际代工线项目公司,主要从事MEMS的生产代工业务。(校对/赵碧莹)

责编: 赵碧莹

魏健

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