长江存储公开“晶圆承载装置及晶圆检测设备”专利

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集微网消息,天眼查显示,近日长江存储科技有限责任公司公开多项专利,其中一条名称为“晶圆承载装置及晶圆检测设备”,公开号为CN216926626U。

专利摘要显示,本申请实施例公开了一种晶圆承载装置及晶圆检测设备,所述晶圆具有相背设置的两个待检测面,所述晶圆承载装置包括承载组件和固定组件;承载组件具有镂空区域;固定组件设于所述承载组件上,用于将所述晶圆固定于所述承载组件上;其中,所述晶圆固定于所述承载组件上时,所述晶圆在所述镂空区域的正投影至少部分与所述镂空区域重叠,本申请中,通过镂空区域可使晶圆相背的两个待检测面同时外露,简化了晶圆的检测过程,提高了检测效率。

(校对/lauryn)

责编: 李梅
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