集成电路生产制造工艺检测设备开发商，睿励科学仪器获1.6亿元融资

集微网消息，7月4日浦东科创集团宣布，其投资企业睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称：睿励科学仪器）完成了一轮增资，直接融入现金超过1.6亿元。

该轮增资由部分原有股东全部认购。本轮所融资金将主要用于光学膜厚量测设备和缺陷检测设备的产品迭代研发及新产品研发和生产投入。

睿励科学仪器创建于2005年，总部设立在张江，研发和销售团队分布于北京、上海、西安、武汉等地。公司从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制。公司膜厚测量、缺陷检测及光学关键尺寸测量等设备已为国内近20家前道半导体晶圆制造客户所采用，在不同的生产工艺产线上通过了大规模量产验证（累计数以亿计的晶圆跑片数）。

此外，睿励科学仪器近两年推出的12吋膜厚量测设备TFX4000系列和应用于明暗场的12吋高精度光学缺陷检测设备WSD系列在相继交付国内重要客户后，已取得多台重复销售订单。

睿励科学仪器相关负责人表示，在本轮融资完成后，睿励科学仪器将继续深耕集成电路芯片生产工艺检测设备市场，进一步丰富光学量测和光学缺陷检测产品系列，在加速光学膜厚量测设备、OCD量测设备、光学缺陷检测设备等产品迭代更新的同时，将逐步开启其他光学类检测设备的开发和应用拓展，力争尽早达到国际厂商同类设备应用能力全覆盖，为早日实现集成电路前道工艺检测设备国产化全面替代的目标而努力奋斗。（校对/诺离）