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赛微电子:北京FAB3启动首批BAW滤波器8英寸晶圆小批量试生产

来源:爱集微

#赛微电子#

06-13 10:41

集微网报道 6月13日,赛微电子发布公告称,2022年6月12日,公司控股子公司赛莱克斯北京代工制造的某款 BAW(Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声波滤波器,包括 BAWSMR-固体安装谐振器和 FBAR-薄膜体声波谐振器)通过了客户验证,经过对该批次 BAW 滤波器进行频段抑制、带内插损、电压驻波比等性能测试及高加速温湿度应力、高低温贮存寿命、机械及跌落冲击等可靠性验证,性能、良率均达到或优于设计指标要求,与国际射频巨头厂商的同类别产品指标相当。该客户已同步签署试产订单,北京 FAB3 启动首批 BAW 滤波器 8 英寸晶圆的小批量试生产。

赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的8英寸MEMS国际代工线项目公司,主要从事 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,简称为微机电系统)的生产代工业务。

瑞典战略产品检验局(the Swedish Inspectorate of Strategic Products,简称为 ISP)于 2021 年 10 月否决了公司全资子公司 Silex Microsystems AB(简称“瑞典 Silex”)于 2020 年 11 月向瑞典 ISP 提交的其向北京 FAB3 提供技术服务与支持的许可申请,瑞典 Silex 与北京 FAB3 于 2018 年签署的《技术服务协议》及《许可协议》被迫中止。

在此背景下,北京FAB3继续加大研发投入,自主积累基础工艺,积极探索各类MEMS器件的生产诀窍,努力为通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户,尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务,积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力,加速国产替代。

赛微电子称,本次 BAW 滤波器的验证通过和启动试产,标志着北京 FAB3 在 MEMS 高频通信器件领域的专业制造能力达到一个新的里程碑,公司技术团队将继续努力奋斗,持续改进工艺、提高良率,尽快实现 BAW 滤波器的规模量产。

尽管已在多领域实现 MEMS 制造技术的积累和突破,但公司北京 FAB3 仍处于运营初期,产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程,产能扩充及产量目标的实现尚需一定时间。(校对/Lee)

责编: 邓文标

邓秋贤

作者

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