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至纯科技:湿法设备均为自主研发及生产,未实施过收购境外技术的事项

来源:爱集微

#至纯科技#

05-30 15:55

集微网消息,近日,有投资者在投资者互动平台提问至纯科技:近期有新闻提到韩国半导体设备审查更严格,还涉及到一项和清洗设备有关的三星员工的诉讼,请问对公司有什么影响吗?公司的湿法设备技术来源是哪里?

至纯科技5月30日在投资者互动平台表示,韩国设备审查严格及诉讼的事项公司也关注到了,非常明确的是,公司布局的湿法设备均为自主研发及生产,设备及部件均有公司自主的专利,公司未实施过收购境外技术的事项。公司湿法设备技术选择的是日系技术路线,技术均为该路线下达到同样工艺需求的自主研发。截至2021年末,公司研发人员240人,占比达16.32%;公司研发费用比上年同期增长51.18%。截至2022年3月末,公司湿法设备已申请专利200项,其中发明专利128项。公司自研的清洗设备,结合公司20多年对于超高纯工艺流体的技术能力,具有独特的设计理念和结构,并获得国内下游核心客户的认可。

在市场需求方面,此前,至纯科技表示,目前订单需求旺盛,公司从2021年开始就已经制定并执行增产计划,目前顺利推行;短期内可以满足订单高速增长的情况;公司半导体设备目前生产制造主要在南通,受到疫情的影响相对较小,二季度交付目前看来影响相对较小。

(校对/Andy)

责编: 邓文标

占旭亮

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