【中标】上海积塔发布一项设备中标结果公告，含KrF光刻机等

作者：魏健 2022-05-23

来源：爱集微 #中标#

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集微网消息，招标平台信息显示，5月23日，上海积塔半导体有限公司（以下简称“上海积塔”）发布一项设备中标结果公告。

合肥开悦半导体科技有限公司（以下简称：开悦半导体）中标上海积塔特色工艺生产线项目3台设备，分别是1台KrF光刻机、1台KrF匀胶显影机、1台独立式匀胶机。

开悦半导体官方显示，公司成立于2016年10月25日，是一家专注于为半导体集成电路制造客户提供光刻领域一站式服务的国际性公司。公司主要经营范围为集成电路制造用光刻领域配套设备，包括涂胶显影机、测试设备等设备供应、工艺解决方案、软件及技术开发、服务、咨询；设备改造、安装、维护，以及零部件供应。（校对/若冰）