长鑫存储公开“刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机”专利

集微网消息，天眼查显示，近日长鑫存储技术有限公司公开多项专利，其中一条名称为“刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机”，公开号为CN114446749A。

专利摘要显示，本发明提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机，涉及半导体制造技术领域，解决刻蚀机的气体分布板的拆装难度大，且易污染气体分布板的问题，该刻蚀机的气体分布板的拆装装置包括握持件、连接件和固定件，固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上，握持件和固定件通过连接件连接；握持件上设置有供用户手部握持的握持部。本发明能够有效减小气体分布板的拆装难度，提高刻蚀机的维修效率，同时减少拆装过程气体分布板的污染，优化刻蚀机的维修效果，保证刻蚀机的刻蚀效果，延长刻蚀机的使用寿命。

（校对/Yuki）