“陕西光电子集成电路先导技术中试平台”通过验收

作者：姜羽桐 2021-09-22

来源：爱集微 #西安光机所# #集成电路# #验收#

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集微网消息，9月10日，中国科学院西安光机所承担的“国家双创示范基地双创支撑平台建设项目——陕西光电子集成电路先导技术中试平台”顺利通过总体验收。

图片来源：中国科学院西安光学精密机械研究所官网

中国科学院西安光机所官网显示，西安光机所于2017年获批国家 “第二批大众创业万众创新示范基地”，2019年5月获得“国家双创示范基地双创支撑平台建设项目——陕西光电子集成电路先导技术中试平台”批复。通过项目支持建设，平台现已建成一条可支持以VCSEL芯片为主的化合物半导体芯片研发、小试工艺线，具备了快测和全流程工艺流片能力，目前VCSEL4&6英寸快测及全流程工艺已通线。（校对/七七）