万业企业上半年营收净利双增 首台集成电路离子注入机已完成交付

集微网消息 8月27日，万业企业发布半年度业绩报告称，2021年上半年，公司实现营收6.09亿元，同比增长28.25%；归属于上市公司股东的净利润2.79亿元，同比增长55.18%。

目前，万业企业集成电路核心装备业务主要有两块：一是以旗下控股子公司凯世通的离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技项目，产品覆盖集成电路、光伏市场领域；二是公司于 2020年12月牵头境内外投资人收购全球领先的集成电路设备气体传输系统精密零部件供应商 Compart Systems Pte. Ltd（以下简称“Compart Systems”）。

据了解，凯世通创始团队主要来自世界知名离子注入机公司，深耕离子注入机领域30多年，在集成电路产业界工艺技术更新换代之际率先开发过多款畅销离子注入机。随着集成电路芯片工艺制程不断微缩，针对国内外客户先进工艺芯片制造的离子注入需求，凯世通选择“领先一步”的产品定位策略，在“10nm及以下三维器件结构FinFET集成电路离子注入机研发与产业化”科技项目支持下，开发面向前沿工艺的离子注入机（基于超越7纳米离子注入平台），并建立相应的研发平台、核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。

上半年，凯世通的设备验证、产品交付、订单签署等工作都取得显著进展，2020年第四季度公司签署商业订单客户交付进度如下：首台低能大束流离子注入机在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证工作并确认销售收入；1台低能大束流重金属离子注入机和1台低能大束流超低温离子注入机已交付客户；高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装。

同时，在上半年，公司新增与国内另一家12英寸芯片制造产线的公司签署1台低能大束流超低温离子注入机和1台高能离子注入机订单。

另外，Compart Systems的相关产业也打入国内集成电路设备公司供应链。根据SEMI数据披露，2020年全球半导体设备销售额712亿美元，同比增长19%，受益于全球半导体设备业绩提升，作为集成电路设备制造商的上游供应商，Compart Systems预计在2021年下半年将继续保持强劲的业绩增长趋势。（校对|Lee）