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传英特格将为台积电供应EUV光罩盒

来源:爱集微

#台积电#

07-21 22:44

集微网消息,7月21日,据台媒经济日报报道,供应链消息传出,半导体材料厂商英特格将开始供应EUV光罩盒给台积电南科厂和美国亚利桑那州。



此前,英特格就宣布未来三至五年,将在中国台湾投资2亿美元在高雄设厂,研发生产半导体先进制程用的化学材料、流体过滤器、电子级化学品容器及工业材料特殊涂层,主要提供半导体产业上、中、下游厂商的先进制程原料及微污染解决方案,预定于2023年量产。

供应链指出,英特格的高雄厂将为5nm、3nm这类最先进半导体生产材料,并已计划供应EUV光罩盒给台积电南科与美国亚利桑那州厂。

根据集微网此前报道,台积电亚利桑那州厂将于2021年动工、2024年开始量产,生产5nm制程产品,将是台积电在海外最先进制程的生产据点,以就近满足北美市场对于先进制程的强劲需求。(校对|Value)

责编: 爱集微

六一

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