精测电子：公司预计2021年部分半导体产品线实现扭亏

集微网消息 近日，精测电子在接受机构调研时表示，半导体研发投入巨大，验证周期长，公司预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。

据了解，精测电子的子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已取得订单并已实现交付，半导体电子束检测设备eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

近日，上海精测出机两款产品为独立式光学关键尺寸量测设备（OCD）及电子束缺陷复查设备（Review-SEM），客户为中芯国际。OCD设备除具有全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查 （ADI）、刻蚀后检查（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度（SWA）、高度/深度等关键尺寸（CD）特征或整体形貌测量，具有高速、准确和非破坏性等特点，是半导体前道检测的关键设备之一；Review-SEM是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，对光学缺陷检测设备的结果进行高分 辨率复查、分析和分类。

精测电子称，目前，中国半导体检测及量测专用设备行业仍然被国外龙头企业占据主导地位，市场集中度高，国内企业仍然处于弱势地位。现阶段，公司的竞争对手主要有科磊半导体[KLAC]、应用材料[AMAT]等。

（校对/Lee）