精测电子：向中芯国际出售半导体设备，包括国内唯一Review SEM设备

集微网消息 7月13日，精测电子接受机构调研，据机构问道：“简单介绍下上海 精测半导体技术有限公司在2021年7月13日设备出机的相关情况？”

对此，据精测电子回复表示，本次出机两款产品为独立式光学关键尺寸量测设备（OCD）及电子束缺陷复查设备（Review-SEM），客户为中芯国际。OCD设备除具有全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查（ADI）、刻蚀后检查（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度（SWA）、高度/深度等关键尺寸（CD）特征或整体形貌测量，具有高速、准确和非破坏性等特点，是半导体前道检测的关键设备之一；Review-SEM 是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，对光学缺陷检测设备的结果进行高辨率复查、分析和分类。

上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，现已形成了膜厚/OCD 量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD 量测设备已取得订单并已实现交付，半导体电子束检测设备 eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

据上海精测公众号表示，12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的国内首台机台，主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权，包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发，是真正意义上的高端国产化机台。

配套EPROFILE 300FD, 上海精测还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0;该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配，可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后，实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。

而12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）是上海精测半导体的另一项主力产品。公司从底层开发做起，扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计，自主知识产权，并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产化供应链。

此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法，将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。

据介绍，目前，中国半导体检测及量测专用设备行业仍然被国外龙头企业占据主导地位，市场集中度高，国内企业仍然处于弱势地位。现阶段，上海精测的竞争对手主要有科磊半导体、应用材料等。（校对/Wenbiao）