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隐冠半导体获1.5亿元融资,复旦系装备关键核心零部件企业

来源:爱集微

#隐冠半导体#

#融资#

04-14 13:38

集微网消息,近日,上海隐冠半导体技术有限公司(以下简称“隐冠半导体”)宣布完成1.5亿元Pre-A轮融资,由季子投资、上海科创投集团、浦东科创集团旗下海望知识产权基金、君桐资本、大成汇彩等共同投资。

图片来源:隐冠半导体

隐冠半导体成立于2019年,由复旦大学超精密运动与检测团队成立,是一家专注于半导体装备关键核心零部件研发的企业。其官网显示,公司以解决“卡脖子”问题为己任,可进行精密运动台、特种执行器、光学传感器为代表的高端设备核心技术及关键零部件的设计研发、装调测试及集成制造。

2020年12月31日,隐冠半导体交付国内首台高性能膜厚&OCD检测运动台。该平台采用模块化、超薄设计、轻量化设计等理念,将MZT磁悬浮模组集成于水平H型运动模组之上,实现五轴的高精度、高刚度直线和旋转运动,可广泛适用于晶圆生产控制应用、后封装光刻机、晶圆切片等场景。(校对/小北)

责编: 小北

西农落

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