助推粤芯先进光刻工艺研发，中科院微电子研究所将与粤芯开展产学研合作

作者： 图图 2020-09-01
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集微网消息，近日，广东省大湾区集成电路与系统应用研究院计算光刻研发中心主任、国家级高端技术人才专家、中国科学院微电子研究所研究员韦亚一与研究员粟雅娟调研粤芯半导体，并商议了在“先进光刻工艺研发”等方面的产学研合作。

图片来源：粤芯半导体

在这次合作调研上，韦教授从当前集成电路制造的光刻工艺需求出发，介绍和分析了当前光刻工艺的发展趋势，系统性地对光刻工艺模块的关键要素、衔接关系进行了梳理，结合粤芯半导体当前技术节点的特征，厘清了工艺中可能遇到的问题和风险，并给出相应的技术解决方案。

粤芯半导体官方消息显示，面对快速发展的芯片市场，粤芯半导体在加快释放产能的同时，也将在先进制程技术的研发上持续加码投入。此次中科院微电子研究所与粤芯半导体的产学研合作对粤芯来说都是一种极大的鼓舞。（校对/若冰）

责编： 韩秀荣
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